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GC-9560-HG高純氧分析氦離子色譜儀適用于高純氧氣中痕量雜質的檢測，Z小檢測濃度可達5ppb。儀器配備高靈敏的氦離子化檢測器，采用華愛公司*的中心切割技術，進樣閥均帶有吹掃保護氣路；整機采用多柱箱設計，并配備進樣壓力自動校正系統(tǒng)，不同底氣的樣品的進樣量*。產品先后榮獲上海市成果轉化*項目、上海市重點新產品、上海市火炬計劃和2009科學儀器產品等稱號。

GC-9560-HG高純氮分析氦離子色譜儀適用于高純氮中的H2、O2、Ar、CH4、CO、CO2等雜質的檢測，儀器配備高靈敏的氦離子化檢測器，采用華愛公司*的中心切割技術，進樣閥均帶有吹掃保護氣路；整機采用多柱箱設計，Z小檢測濃度可達5ppb。

GC-9560-HG高純氨分析氦離子色譜儀適用于高純氨中痕量雜質的檢測，小檢測濃度可達5ppb。儀器配備高靈敏的氦離子化檢測器，采用華愛公司中心切割技術，進樣閥均帶有吹掃保護氣路；整機采用多柱箱設計，并配備進樣壓力自動校正系統(tǒng)，不同底氣的樣品的進樣量。產品先后榮獲上海市成果轉化*項目

高純二氧化碳分析氦離子色譜儀用于高純二氧化碳中痕量雜質的檢測，小檢測濃度可達5ppb。儀器配備高靈敏的氦離子化檢測器，采用華愛公司*的中心切割技術，進樣閥均帶有吹掃保護氣路；整機采用多柱箱設計，并配備進樣壓力自動校正系統(tǒng)，不同底氣的樣品的進樣量*。產品先后榮獲上海市成果轉化*項目、上海市重點新產品、上海市火炬計劃和2009科學儀器產品等稱號。

GC-9560-HG硅烷分析氦離子化氣相色譜儀適用于高純氣體和電子工業(yè)用氣體中痕量雜質的檢測，Z小檢測濃度可達5ppb。儀器配備高靈敏的氦離子化檢測器，采用華愛公司*的中心切割技術，進樣閥均帶有吹掃保護氣路；整機采用多柱箱設計，并配備進樣壓力自動校正系統(tǒng)，不同底氣的樣品的進樣量*。產品先后榮獲上海市成果轉化*項目、上海市重點新產品、上海市火炬計劃和2009科學儀器產品等稱號。

PDHID對硅烷中氣體雜質檢測限（ppb） H2 O2 Ar N2 CO CH4 CO2 C2 C3 SimHn 50 50 50 50 20 20 20 20 50