氪分析用氦離子色譜儀的用途主要是對(duì)電子工業(yè)用氣體中的痕量雜質(zhì)進(jìn)行檢測。它可以分析高純氫、氧、氬、氮、氦、氖、氪、氙、二氧化碳等氣體中H2、O2(Ar)、N2、CH4、CO、CO2等常見雜質(zhì)或C1-C4等碳?xì)浠衔锏暮?，最小檢測濃度可達(dá)5ppb，具有痕量雜質(zhì)檢測的能力。
氪分析用氦離子色譜儀原則上可以檢測除氖氣以外所有物質(zhì)。根據(jù)實(shí)際需要，可以通過選用不同色譜柱測定多種高純氣體中的多種雜質(zhì)氣體成分，還可以配接毛細(xì)管柱，擴(kuò)大分離效能，檢測更多種成分。
注意點(diǎn)：
1.儀器的接地很重要，必須保證儀器及人員的安全。
2.儀器的氣路應(yīng)采用高純度氣體，進(jìn)氣口應(yīng)加裝氣體過濾器。
3.儀器的氣路管道盡可能短，以減少氣體流動(dòng)阻力。
4.氦離子化氣相色譜儀的進(jìn)樣口溫度應(yīng)高于室溫，以防止氣體凝結(jié)在進(jìn)樣口上。
5.在使用過程中，應(yīng)嚴(yán)格按照操作規(guī)程操作，否則會(huì)造成儀器損壞或人員傷亡。
6.在使用過程中，應(yīng)注意觀察儀器的工作狀態(tài)，發(fā)現(xiàn)問題應(yīng)及時(shí)處理。
7.儀器應(yīng)放置在干燥、通風(fēng)、無腐蝕性物質(zhì)的環(huán)境中，避免陽光直射。
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